突发:东京应化TOK、JSR、信越化学、富士电子材料宣布全面停止接收中国ArF/EUV光刻胶新订单,KrF光刻胶新增订单大幅压缩; 撤出全部在华驻场工艺技术团队,售后、调试、配方适配全部中断; 原有存量合同交货周期拉长至6–8个月,实际交付量大幅缩水。

所有光刻胶核心原材料均为树脂 (40–70%) > 溶剂 (15–25%) > 光酸产生剂 (PAG, 5–15%) > 添加剂 (5–10%),树脂占比最大,是性能核心

核心树脂

八亿时空 KrF-PHS 树脂 (百吨级) 国内首条双产线量产,金属杂质≤10ppt

南大光电 KrF/ArF 树脂配套自产 ArF 光刻胶,50 吨 / 年线稳定供货

光酸产生剂 (PAG)(曝光核心,EUV 级壁垒最高)

强力新材KrF/ArF-PAG国内 PAG 龙头,批量供货

溶剂与单体(纯度决定良率,国产化提速)

佳先股份 KrF-PHOST 单体 国内唯一规模化供应,年产 1000 吨

怡达股份 高纯度 PGMEA  通过中芯国际认证,批量供货

国产受益厂家梯队与替代路径

第一梯队(已实现批量替代,直接受益)


  • 树脂:八亿时空(KrF-PHS)、南大光电(ArF)

  • PAG:强力新材(KrF/ArF)

  • 溶剂:怡达股份(PGMEA)、佳先股份(PHOST 单体)

  • 受益场景:日本限制 KrF/ArF 订单后,国内晶圆厂加速切换国产材料


第二梯队(中试 / 验证阶段,即将受益)

  • 树脂:彤程新材(ArF)、圣泉集团(KrF)

  • PAG:华懋科技(EUV)、久日新材(高端 PAG)

  • 受益场景:2026–2027 年国内 ArF 光刻胶扩产,带动上游材料需求

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