太平洋证券-电子特气行业报告:硅烷材料,从光伏辅料到硅碳负极、光纤核心原料
电子特气广泛应用于集成电路、显示面板、半导体照明、光伏等行业。集成电路制造涉及上千道工序,工艺极其复杂,需使用上百种电子特种气体。从半导体市场构成来看,电子特气为晶圆制造过程中的第二大耗材,占比接近14%,仅次于硅片。
硅烷凭借其独特的“气体”和“含硅”特性,是最重要的高纯硅源之一,主要应用于半导体微电子薄膜制备,同时还用于硅基层低温外延、选择外延、异质外延,以及化合物半导体器件如砷化镓、碳化硅合成等。未来硅碳负极等新应用的扩散有望带动国内硅烷气需求持续增长。高纯四氯化硅因为副产物的属性决定了该产品扩产较难,光纤需求大幅增加导致行业阶段性供应紧张。
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