1、技术壁垒与市场价值分层


第一梯队:六氟丁二烯、六氟化钨


第二梯队:八氟环丁烷、八氟丙烷


第三梯队:六氟乙烷、三氟化氮


第四梯队:四氟化碳、六氟化硫。


  1. 国产替代进度梯队



已基本实现自给:四氟化碳、六氟化硫、三氟化氮


加速替代中:八氟环丁烷、六氟乙烷


初步突破、替代空间大:八氟丙烷、六氟化钨


单点突破、独家供给:六氟丁二烯


  1. 未来需求增长弹性排序



六氟丁二烯(高端刻蚀) > 六氟化钨(沉积) > 八氟环丁烷(高端刻蚀) > 八氟丙烷(中端刻蚀) > 三氟化氮(清洗) > 六氟乙烷(基础刻蚀) > 四氟化碳 (基础刻蚀) > 六氟化硫(清洗)


4.产品价格排序


六氟丁二烯 > 六氟化钨> 八氟环丁烷> 八氟丙烷 >六氟乙烷> 三氟化氮 > 四氟化碳 > 六氟化硫


主要上市公司:【中船特气】【昊华科技】【中巨芯】【金宏气体】【华特气体】


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