实锤低位光刻机上游材料—宜安科技
1、有国家级研发项目,覆盖光刻机光路反射镜
1. 宜安牵头广东省揭榜挂帅专项《高性能非晶合金反射镜关键材料与器件研发》,联合华为松山湖实验室、航天院所,三大研发方向:航天反射镜、海洋反射镜、高功率激光反射镜(含DUV/EUV光刻机光路镜片)。
2. 材料产品:锆基非晶(液态金属)镜坯,用来做光刻机内部激光光路反射镜片,替代传统碳化硅镜片;已完成300/500mm镜坯样品、全套加工工艺定型,样品送下游设备厂商验证。
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