一块晶圆从裸片到最终芯片，需要经历数百甚至上千道工艺，每一道光刻、刻蚀、清洗、CMP抛光之后，都必须使用超纯水进行清洗。

一旦水中含有金属离子、颗粒物、有机物，就可能导致良率下降，甚至整批晶圆报废。

超纯水不是辅助设施，而是晶圆厂最核心的基础设施之一。没有超纯水，就没有先进制程。

超纯水不是一台设备，而是一条完整产业链

很多投资者认为超纯水只是一个过滤器。事实上，一套半导体超纯水系统由多个高技术环节组成，包括：

  • RO反渗透膜

  • EDI连续电去离子

  • 离子交换树脂

  • 抛光树脂

  • 超滤及终端过滤

  • 在线监测系统

  • 管路及循环系统

其中任何一个环节出现问题，都可能影响整个晶圆厂运行。相比很多一次性交付的设备，超纯水产业具有更好的持续性。随着晶圆厂持续运行：

  • 树脂需要定期更换；

  • 滤芯需要持续采购；

  • 膜组件需要更新；

  • 系统需要长期维护；

  • 水回收系统需要不断升级。

高端半导体超纯水系统长期由海外企业主导。

  • 近年来，随着国内晶圆厂持续建设，本土企业在系统集成、膜材料、离子交换树脂、在线监测等环节不断取得突破。

    如果未来国产化率继续提升，行业成长不仅来自新增晶圆厂，还来自进口替代带来的市场份额提升。

  • 相比一次性建设的超纯水工程，树脂更具备耗材属性。晶圆厂建成后，树脂会随着运行时间逐步衰减，需要定期更换。这意味着，只要晶圆厂持续生产，电子级树脂就会形成持续需求，而不仅仅依赖新增资本开支。

    过去，国内超纯水系统中的高端电子级树脂长期依赖进口。随着国内晶圆厂扩产、自主可控要求提升，下游客户开始加快国产产品验证。一旦完成认证，供应关系通常具有较强稳定性，这也是高端材料行业的重要特点。

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