机器人（300024）旗下新松半导体是国内晶圆传输赛道核心厂商，2025 年半导体装备业务营收达 5.25 亿元。依托全栈自研的真空机械手、EFEM 设备前端模块等核心产品，公司深度绑定中芯国际、长江存储、长鑫存储等国内主流晶圆厂，形成 “设备厂配套导入 + 厂级物流直供” 的双路径合作格局，是半导体设备零部件国产替代的核心受益标的。


在核心晶圆传输部件领域，公司产品主要通过国产头部设备厂间接配套导入三大晶圆厂产线。其两轴、三轴真空直驱机械手重复定位精度达 0.02mm，已随北方华创、中微半导体、拓荆科技等厂商的刻蚀、薄膜沉积设备，批量进入中芯国际、长江存储成熟制程产线，2022 年即拿下长江存储首批批量订单，打破海外厂商垄断；长鑫存储扩产项目也通过设备厂配套逐步渗透。同时公司 EFEM 及大气机械手完成全流程自研，随国产设备整机同步导入三大晶圆厂大气端工序，承担晶圆取放、对准与洁净传输功能。


在厂级洁净物流方向，公司洁净搬运机器人、FOUP 转运系统等产品直接服务三大晶圆厂车间级物料流转，支撑产线自动化升级。当前海外 EFEM 与真空机械手供给持续紧张，交期拉长至 8 个月以上且价格上行，供应链安全诉求推动国产替代从 “可选” 转向 “刚需”。作为国内少数同时掌握大气与真空晶圆传输技术的厂商，公司在三大晶圆厂成熟制程的渗透率持续提升，后续随先进制程验证推进，业绩弹性有望进一步释放。


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