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国林科技在 3D 封装工艺中的核心作用:高纯臭氧与机能水的关键支撑

国林科技在 3D 封装工艺中的核心作用:高纯臭氧与机能水的关键支撑
一、核心定位与产品国林科技通过子公司国林半导体,在 3D 封装领域提供高浓度高纯臭氧发生器、臭氧水系统及机能水设备,是国内唯一通过 14-28nm 先进制程验证并批量供货的半导体臭氧设备厂商,对标美国 MKS(全球市占约 90%),实现关键设备国产化替代。二、3D 封装中的三大核心应用环节(1)TSV 深孔清洗:良率保障的关键3D 封装的核心是硅通孔 ...

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