AMHS，是Automated Material Handling System的缩写，即自动物料搬送系统（天车）。一般特指在洁净室环境下，通过软件系统的控制和调度，按照生产系统的指令，实现物料在生产线工序间的自动搬运、缓冲存放的系统。AMHS负责在晶圆制造过程中，自动搬运晶圆盒（FOUP）在各个设备之间流转，实现全自动、无人工干预的运输。在先进晶圆厂...