铌酸锂单晶薄膜（LNTF、LNOI）是指通过Smart-cut工艺（包括离子注入、转移键合、剥离与抛光等）在硅等异质基底材料上制备得到的厚度在300~900nm的铌酸锂单晶层。铌酸锂（LiNbO3）晶体是一种重要的光电材料，广泛应用于光通讯、量子通信、航空航天等领域，是调制器、5G滤波器、存储器以及探测器等基础材料之一。铌酸锂薄膜正是从铌酸锂晶体上剥离...