光刻机突破,借助TSV绕开 EUV 瓶颈的关键路径

先进制程推进中,EUV 光刻机的瓶颈日益凸显,而TSV(硅通孔) 技术正成为另辟蹊径的核心方案。通过垂直互联实现芯片堆叠,这种先进封装路径让成熟制程也能释放接近先进工艺的性能,为国内半导体产业打开新空间。封测端,晶方科技的晶圆级 TSV 封装技术全球领先,长电科技、通富微电、华天科技均已实现 TSV 相关产品量产,支撑算力芯片与存储的高密度集成。设备方...
概伦电子:与Z芯联合开发,3DIC EDA 国产替代唯一标的

1. 技术壁垒:① 3DIC EDA 国内唯一填补空白:先进封装设计关键解决方案、3DIC 设计 EDA 工具填补了该领域国内 EDA 工具的空白工艺支持:支持 7nm/5nm/3nm 等先进工艺节点和 FinFET、FD-SOI 等各类半导体工艺路线国际认证:新一代 NanoSpice™通过三星代工厂 3/4nm 工艺技术认证② DTCO 方法学领先...