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半导体设备零部件:国产替代进入深水区

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过去几年,半导体设备国产化的重点,主要集中在刻蚀、薄膜沉积、清洗、检测等整机设备。但随着国产设备逐步进入晶圆厂,产业矛盾也在发生变化;过去解决的是整机能不能造出来,现在面对的是整机能不能稳定生产、持续交付。一台半导体设备通常由成千上万个零部件组成。腔体、阀门、真空泵、射频电源、质量流量控制器、静电卡盘、机械手、温控系统,任何一个关键部件出现短板,都可能...

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